Березин, Андрей Сергеевич. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники :



  • Название:
  • Березин, Андрей Сергеевич. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Моск. ин-т электронной техники
  • Год защиты:
  • 1997
  • Краткое описание:
  • Березин, Андрей Сергеевич. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1997.- 22 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-5/3619-5
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины