Булыгина, Екатерина Вадимовна. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме :



  • Название:
  • Булыгина, Екатерина Вадимовна. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • МГТУ им. Н. Э. Баумана
  • Год защиты:
  • 1997
  • Краткое описание:
  • Булыгина, Екатерина Вадимовна. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / МГТУ им. Н. Э. Баумана.- Москва, 1997.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-3/2918-9
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины