Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Электроника
- Название:
- Белоусов, Вячеслав Михайлович. Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники
- ВУЗ:
- Моск. гос. ин-т электроники и математики
- Краткое описание:
- Белоусов, Вячеслав Михайлович. Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. гос. ин-т электроники и математики.- Москва, 1996.- 24 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-3/1953-1
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб