Михайлов, Валерий Павлович. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок лоя повышения их производительности :



  • Название:
  • Михайлов, Валерий Павлович. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок лоя повышения их производительности
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Москва
  • Год защиты:
  • 1995
  • Краткое описание:
  • Михайлов, Валерий Павлович. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок лоя повышения их производительности : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07.- Москва, 1995.- 18 с.: ил.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины