Ухов, Андрей Александрович. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур :



  • Название:
  • Ухов, Андрей Александрович. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Москва
  • Год защиты:
  • 1995
  • Краткое описание:
  • Ухов, Андрей Александрович. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07.- , 1995.- 14 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-3/3702-x
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины