Перинская Ирина Владимировна. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии :



  • Название:
  • Перинская Ирина Владимировна. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Сарат. гос. техн. ун-т
  • Год защиты:
  • 2010
  • Краткое описание:
  • Перинская Ирина Владимировна. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10 / Перинская Ирина Владимировна; [Место защиты: Сарат. гос. техн. ун-т].- Саратов, 2010.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3155
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины