Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Электротехнические комплексы и системы
скачать файл:
- Название:
- Нечаев, Михаил Анатольевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
- Краткое описание:
- Нечаев, Михаил Анатольевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.03 / Нечаев Михаил Анатольевич; [Место защиты: Том. политехн. ун-т].- Томск, 2010.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1045
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб