Сліпокуров Віктор Сергійович Розробка методів контролю параметрів омічних контактів Pd-Ti-Au до кремнієвих мікрохвильових діодів Диссертация

Название:
Сліпокуров Віктор Сергійович Розробка методів контролю параметрів омічних контактів Pd-Ti-Au до кремнієвих мікрохвильових діодів

Альтернативное название:
Слипокуров Виктор Сергеевич Разработка методов контроля параметров омических контактов Pd-Ti-Au в кремниевых микроволновых диодов Slipokurov Victor Sergeevich Development of methods of control of parameters of ohmic contacts of Pd-Ti-Au to silicon microwave diodes

Краткое описание:
Сліпокуров Віктор Сергійович, науковий співробітник відділу фізики і технології низьковимірних систем, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України. Назва дисертації: «Розробка методів контролю параметрів омічних контактів Pd-Ti-Au до кремнієвих мікрохвильових діодів». Шифр та назва спеціальності 05.27.06 технологія, обладнання і виробництво електронної техніки. Спецрада Д 26.199.01 Інституту фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова

Сліпокуров Віктор Сергійович Розробка методів контролю параметрів омічних контактів Pd-Ti-Au до кремнієвих мікрохвильових діодів