Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Бычков Сергей Павлович Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования
- Альтернативное название:
- Бичков Сергій Павлович Розробка та дослідження променистих нагрівальних пристроїв для вакуумно-термічного обладнання
- Краткое описание:
- Бычков Сергей Павлович Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Бычков Сергей Павлович
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ПРОИЗВОДСТВЕ
ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
1.1. Технологические особенности термических процессов
в производстве изделий электронной техники
1.2. Анализ существующего вакуумно-термического
оборудования для изделий электронной техники
1.3. Нагревательные устройства вакуумно-термического оборудования
1.4. Обзор существующих методов расчета лучистых нагревательных
устройств
ГЛАВА 2. ВЫБОР ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА
2.1. Классификация нагревательных устройств
2.2. Классификация ИК-нагревателей
2.3. Выбор рефлектора
2.4. Расчет системы охлаждения рефлектора
ГЛАВА 3. РАСЧЕТ ЛУЧИСТОГО ТЕПЛООБМЕНА
В СИСТЕМАХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ЛОКАЛЬНЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ
ТЕМПЕРАТУР
ГЛАВА 4. МЕТОДИКА РАСЧЕТА И ПРОЕКТИРОВАНИЯ УСТРОЙСТВ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
4.1. Расчет тепловых потоков при магнетронном распылении твердых и жидкофазных мишеней
4.2. Результаты выполненных расчетов тепловых потоков
4.3. Экспериментальная проверка результатов расчета
4.4. Определение температуры и времени нагрева подложки
за счет тепловых потоков от мишени
Стр.
ГЛАВА 5. МЕТОДИКА ПРОЕКТИРОВАНИЯ МОДУЛЬНОГО
ЛУЧИСТОГО НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА
ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
ПРИЛОЖЕНИЕ
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб