Григорьев Михаил Николаевич Разработка и исследование технологических основ создания кремний-углеродных пленок для сенсоров газов и электродов электрохимических конденсаторов

Краткое описание

Григорьев Михаил Николаевич Разработка и исследование технологических основ создания кремний-углеродных пленок для сенсоров газов и электродов электрохимических конденсаторов
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Григорьев Михаил Николаевич
СОДЕРЖАНИЕ

СПИСОК УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ: СВОЙСТВА И ПРИМЕНЕНИЕ

1.1 Общие сведения о кремний-углеродных пленках. Свойства

1.2 Области применения кремний-углеродных пленок

1.2.1 Электрохимические конденсаторы на основе кремний-углеродных пленок

1.2.2 Сенсоры газов на основе кремний-углеродных пленок

1.3 Методы получения и модификации кремний-углеродных пленок

1.3.1 Методы получения кремний-углеродных пленок

1.3.1.1 Физические методы

1.3.1.2 Химические методы

1.3.2 Прекурсоры для формирования кремний-углеродных пленок

1.3.3 Методы модификации кремний-углеродных пленок атомами металлов

Выводы и постановка задачи

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ СВОЙСТВ

2.1 Реализация метода электрохимического осаждения для получения кремний-углеродных пленок из растворов органических соединений

2.1.1 Технологическое оборудование метода электрохимического осаждения

2.1.2 Разработка компонентного состава растворов электролита

2.1.3 Выбор подложек

2.2 Разработка технологического маршрута формирования кремний-углеродных пленок

2.2.1 Основные этапы технологического маршрута

2.2.2 Формирование проводящего подслоя на поликоре и электрического контакта на кремнии

2.2.3 Подготовка подложек

2.2.4 Выбор технологических режимов осаждения кремний-углеродных пленок

2.3 Исследование механизмов электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок

2.4 Исследование морфологии поверхности кремний-углеродных пленок методом сканирующей электронной микроскопии

2.5 Исследование кремний-углеродных пленок методами рамановской спектроскопии и рентгеновской дифрактометрии

Выводы

3. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕНСОРОВ ГАЗОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ ХАРАКТЕРИСТИК

3.1 Разработка технологии изготовления сенсоров газов на основе кремний-углеродных пленок

3.1.2 Исследование структуры, фазового состава и морфологии поверхности кремний-углеродных пленок в составе сенсоров газов

3.1.3 Исследование электрофизических и газочувствительных свойств сенсоров газов на основе кремний-углеродных пленок

3.1.4 Исследование механизма проводимости

Выводы

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК

4.1 Технология изготовления электродов электрохимических конденсаторов на основе кремний-углеродных пленок

4.2 Исследование характеристик электродов электрохимических конденсаторов на основе кремний-углеродных пленок

4.2.1 Оборудование и методы исследований

4.2.2 Исследование характеристик электродов электрохимических конденсаторов

Выводы

Заключение

Список использованных источников

Приложение А