ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ
| Бесплатное скачивание авторефератов |
| СКИДКА НА ДОСТАВКУ РАБОТ! |
| Увеличение числа диссертаций в базе |
| Снижение цен на доставку работ 2002-2008 годов |
| Доставка любых диссертаций из России и Украины |
ПОСЛЕДНИЕ ОТЗЫВЫ
Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Лукичев, Владимир Федорович. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме
- Кол-во страниц:
- 200
- ВУЗ:
- Физико-технологич. ин-т
- Год защиты:
- 1997
- Краткое описание:
- Лукичев, Владимир Федорович. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Физико-технологич. ин-т.- Москва, 1997.- 25 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-2/2388-X
- Список литературы:
- -
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб
