Вавилин Константин Викторович. Моделирование высокочастотных индуктивных источников плазмы малой мощности
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2005
Краткое описание:
Вавилин Константин Викторович. Моделирование высокочастотных индуктивных источников плазмы малой мощности : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08.- Москва, 2005.- 123 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-1/203