Каталог / ХІМІЧНІ НАУКИ / фізична хімія
скачать файл: 
- Назва:
- Шаяпов, Владимир Равильевич. Физико-химические свойства пленок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана
- ВНЗ:
- Ин-т неорган. химии им. А.В. Николаева СО РАН
- Короткий опис:
- Шаяпов, Владимир Равильевич. Физико-химические свойства пленок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04 / Шаяпов Владимир Равильевич; [Место защиты: Ин-т неорган. химии им. А.В. Николаева СО РАН].- Новосибирск, 2013.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/680
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб