Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Гуляев, Вячеслав Валентинович. Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3
- ВУЗ:
- Воронеж. гос. техн. ун-т
- Краткое описание:
- Гуляев, Вячеслав Валентинович. Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3 : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Гуляев Вячеслав Валентинович; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т].- Воронеж, 2011.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2194
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб