Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Коломийцев, Алексей Сергеевич. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
- ВУЗ:
- Технол. ин-т Южного федер. ун-та
- Краткое описание:
- Коломийцев, Алексей Сергеевич. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич; [Место защиты: Технол. ин-т Южного федер. ун-та].- Таганрог, 2011.- 187 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2749
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб