Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Шумилов Андрей Станиславович. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе
- ВУЗ:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- Краткое описание:
- Шумилов Андрей Станиславович. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Шумилов Андрей Станиславович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2009.- 178 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/175
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб