Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Смирнов Владимир Александрович. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti
- Краткое описание:
- Смирнов Владимир Александрович. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Смирнов Владимир Александрович; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]. - Таганрог, 2008. - 148 с. : ил. РГБ ОД, 61:08-5/1005
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб