Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
- ВУЗ:
- Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.
- Краткое описание:
- Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.01 / Шаныгин Виталий Яковлевич;[Место защиты: Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.].- Саратов, 2015.- 144 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб