Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Осипов Артём Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой
- ВУЗ:
- ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
- Краткое описание:
- Осипов Артём Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Осипов Артём Арменакович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб