catalog / Physics and mathematics / physics
скачать файл:
- title:
- Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста
- university:
- ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
- The year of defence:
- 2021
- brief description:
- Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб