catalog / Physics and mathematics / Thermophysics and theoretical heat engineering
- title:
- Замчий Александр Олегович. Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой
- university:
- Институт теплофизики им.С.С.Кутателадзе СО РАН
- The year of defence:
- 2015
- brief description:
- Замчий Александр Олегович. Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 01.04.14 / Замчий Александр Олегович;[Место защиты: Институт теплофизики им.С.С.Кутателадзе СО РАН].- Новосибирск, 2015.- 174 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб