catalog / Physics and mathematics / plasma Physics
скачать файл:
- title:
- Малыхин, Евдоким Михайлович. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
- university:
- Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова
- The year of defence:
- 2011
- brief description:
- Малыхин, Евдоким Михайлович. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм) : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Малыхин Евдоким Михайлович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2011.- 128 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-1/926
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб