catalog / Physics and mathematics / physical Electronics
скачать файл:
- title:
- Рычков Дмитрий Сергеевич. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе
- The year of defence:
- 2004
- brief description:
- Рычков Дмитрий Сергеевич. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : Дис. ... канд. техн. наук : 01.04.04 : Томск, 2004 148 c. РГБ ОД, 61:04-5/3050
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб