catalog / TECHNICAL SCIENCES / Metrology and metrological support
скачать файл:
- title:
- Золотаревский Сергей Юрьевич. Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне
- university:
- ФГУП "ВНИИМС"
- The year of defence:
- 2010
- brief description:
- Золотаревский Сергей Юрьевич. Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.15 / Золотаревский Сергей Юрьевич; [Место защиты: ФГУП "ВНИИМС"].- Москва, 2010.- 238 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/2609
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб