catalog / TECHNICAL SCIENCES / Nanotechnology and Nanomaterials (by industry)
скачать файл:
- title:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм
- university:
- ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
- The year of defence:
- 2023
- brief description:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2023
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб