catalog / TECHNICAL SCIENCES / Instrum-s and meth-s of monit-g and deter-g the composition of subst-s
скачать файл:
- title:
- Мороз Андрей Викторович. Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления
- university:
- ФГБОУ ВПО «Казанский государственный энергетический университет»
- The year of defence:
- 2014
- brief description:
- Мороз Андрей Викторович. Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления: диссертация ... кандидата технических наук: 05.11.13 / Мороз Андрей Викторович;[Место защиты: ФГБОУ ВПО «Казанский государственный энергетический университет»].- Казань, 2014.- 111 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб