catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл:
- title:
- Корпухин, Андрей Сергеевич. Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе
- university:
- Нац. исслед. ун-т МЭИ
- The year of defence:
- 2012
- brief description:
- Корпухин, Андрей Сергеевич. Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Корпухин Андрей Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МЭИ].- Москва, 2012.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/373
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб