catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл:
- title:
- Шумилов Андрей Станиславович. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе
- university:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- The year of defence:
- 2009
- brief description:
- Шумилов Андрей Станиславович. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Шумилов Андрей Станиславович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2009.- 178 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/175
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб