Облов Константин Юрьевич Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки

brief description

Облов Константин Юрьевич Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Облов Константин Юрьевич
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1. Аналитический обзор газовых сенсоров с мембранной конструкцией нагревательного элемента

1.1. Аналитический обзор конструктивных и технологических особенностей существующих керамических микронагревателей

1.2. Технологии микрообработки керамических материалов

1.3. Выводы

ГЛАВА 2. ВЫБОР КОНФИГУРАЦИИ, ИЗГОТОВЛЕНИЕ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МИКРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ

2.1. Выбор конструкции чипа газового датчика

2.2. Методика тестирования мощности микронагревателей

2.3. Компьютерное моделирование зависимости потребляемой нагревателем мощности от геометрических размеров нагревателя

2.4. Компьютерное моделирование зависимости потребляемой микронагревателем мощности от толщины металлизации

2.5. Формирование электродов на поверхности тонких керамических подложек

2.6. Процесс изготовления чипов микронагревателей и БМО корпусов для металлооксидных газовых сенсоров

2.7. Выводы

ГЛАВА 3. ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ЛАЗЕРНОЙ МИКРОФРЕЗЕРОВКИ

3.1. Обоснование актуальности разработки программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки для производства газовых сенсоров

3.2. Технологические особенности процесса лазерной микрофрезеровки

3.3. Программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки

3.4. Программное обеспечение программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки

3.5. Выводы

ГЛАВА 4. ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ТЕСТИРОВАНИЕ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫХ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ

4.1. Изготовление специализированных металлооксидных газовых сенсоров

4.2. Тестирование специализированных металлооксидных газовых сенсоров

4.3. Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы

Приложение А. Копии патентов РФ

Приложение Б. Копии актов о внедрении результатов диссертации