catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл:
- title:
- Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
- university:
- Нац. исслед. технол. ун-т
- The year of defence:
- 2013
- brief description:
- Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Курочка Александр Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т].- Москва, 2013.- 149 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1284
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб