catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл:
- title:
- Осипов Артём Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой
- university:
- ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
- The year of defence:
- 2019
- brief description:
- Осипов Артём Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Осипов Артём Арменакович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб