catalog / TECHNICAL SCIENCES / Instrumentation technology
скачать файл:
- title:
- Алтухов Андрей Александрович. Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
- The year of defence:
- 2005
- brief description:
- Алтухов Андрей Александрович. Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06, 05.11.14 Москва, 2005 174 с. РГБ ОД, 61:05-5/3835
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб