Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства :



  • title:
  • Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
  • The number of pages:
  • 200
  • university:
  • Томский политехн. ун-т
  • The year of defence:
  • 2000
  • brief description:
  • Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Томский политехн. ун-т.- Москва, 2000.- 22 с.: ил.
  • bibliography:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


SEARCH READY THESIS OR ARTICLE


Доставка любой диссертации из России и Украины