Балашов, Владимир Николаевич. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии :



  • title:
  • Балашов, Владимир Николаевич. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
  • The number of pages:
  • 200
  • university:
  • Моск. ин-т электроники и математики
  • The year of defence:
  • 1998
  • brief description:
  • Балашов, Владимир Николаевич. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электроники и математики.- Москва, 1998.- 39 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-7/992-8
  • bibliography:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


SEARCH READY THESIS OR ARTICLE


Доставка любой диссертации из России и Украины