Алексеев, Андрей Петрович. Количественный электронно-зондовый анализ легирующих примесей в приповерхностных слоях кремния
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
1992
brief description:
Алексеев, Андрей Петрович. Количественный электронно-зондовый анализ легирующих примесей в приповерхностных слоях кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 1992.- 24 с.: ил.