catalog / TECHNICAL SCIENCES / Instrum-s and meth-s of monit-g and deter-g the composition of subst-s
скачать файл: 
- title:
- Березина Наталия Вадимовна. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем
- The year of defence:
- 2001
- brief description:
- Березина Наталия Вадимовна. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13.- Москва, 2001.- 122 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/851-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб