Экспериментальное исследование сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления в магнитном поле Мозгрин, Дмитрий Витальевич

brief description

Мозгрин, Дмитрий Витальевич.
Экспериментальное исследование сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления в магнитном поле : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08. - Москва, 1994. - 122 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Мозгрин, Дмитрий Витальевич
СОДЕРЖАНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ.
Глава I. Сильноточные разряды низкого давления в магнитном поле и их использование для генерации плотной плазмы и интенсивных потоков частиц.
1.1 Экспериментальные исследования газового разряда низкого давления в магнитном поле и их применение в современной технике.
1.2 Методы получения разрядов низкого давления большой мощности с однородной структурой плазмы.
Выводы.
Глава 2. Методика и техника эксперимента.
2.1 Экспериментальная установка для получения мощных квазистационарных форм газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях.
2.2 Импульсная зондовая методика определения параметров плазмы.
2.3 Двухмодовая лазерная методика определения плотности плазмы.
2.4 Импульсное смещение.
Глава.3. Области существования и характеристики квазистационарных сильноточных режимов разряда низкого давления в магнитном поле различной конфигурации.
3.1 Режимы квазистационарного разряда.
3.2 Применение импульсной зондовой методики для определения параметров плазмы и ионных потоков.
3.3 Определение параметров плазмы разряда методом двухмодовой лазерной интерферометрии.
3.4 Обсувдение результатов.
Глава.4. Эмиссионные и распылительные характеристики сильноточных форм квазистационарного разряда низкого давления.
4.1 Особенности катодного распыления в квазистационарном сильноточном магнетронном разряде и его использование в технологии импульсного распыления материалов.
4.2 Эмиссионные свойства плазмы сильноточного диффузного разряда и их использование в технологии, ион-но-стимулированного травления материалов—