Косуля Олександр Валерійович Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур Диссертация

title:
Косуля Олександр Валерійович Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур

Альтернативное название:
Косуля Александр Валерьевич Разработка методик масс-спектрометрии для исследования диэлектрических матриц и напряженных наноразмерных структур Kosulya Oleksandr Valeriiovych Development of mass spectrometry methods for the study of dielectric matrices and stressed nanoscale structures

brief description:
Косуля Олександр Валерійович, молодший науковий співробітник відділу іонно-променевої інженерії № 4, Інституту фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України. Назва дисертації: «Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур». Шифр та назва спеціальності 05.27.06 технологія, обладнання та виробництво електронної техніки. Спецрада Д 26.199.01 Інституту фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова

Косуля Олександр Валерійович Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур