Павлюченко Максим Николаевич. Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
2002
brief description:
Павлюченко Максим Николаевич. Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10.- Москва, 2002.- 105 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-1/590-6