catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл: 
- title:
- Спешилова Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
- university:
- ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
- The year of defence:
- 2019
- brief description:
- Спешилова Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Спешилова Анастасия Борисовна;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб