Структура электромагнитного поля и резонансы в высокочастотных емкостных разрядах низкого давления Кодирзода Заъфари Абдуламин

brief description

Кодирзода Заъфари Абдуламин.
Структура электромагнитного поля и резонансы в высокочастотных емкостных разрядах низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Кодирзода Заъфари Абдуламин; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова»]. - Москва ; Душанбе, 2021. - 139 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Кодирзода Заъфари Абдуламин
Оглавление
Оглавление
Введение
Глава 1. Обзор литературы
§1.1. Применение ВЧ разряда в современных технологиях
§1.2. Существующие подходы к описанию газового разряда. Простые 15 глобальные модели
§1.3. Глобальные модели ВЧ разряда на основе плазменного 16 конденсатора.
§1.4. Гистерезис в глобальных моделях
§1.5. Численное моделирование разряда
§1.6. Слои пространственного заряда на границе плазмы
§1.7. Сопряжение уравнений слоя и плазмы
§1.8. Электродинамические эффекты в ВЧ емкостных разрядах 23 низкого давления
§1.9. Собственные волны на границе плазма-слой пространственного 26 заряда-металл
§1.10. Кинетические эффекты и их соотношение с 28 электродинамическими
§1.11. Проблемы описания процессов в высокочастотных разрядах 31 низкого давления
Глава II. Общие вопросы. Простая модель симметричного разряда [13,
14]
§2.1. Система уравнений. Граничные условия и представление 33 электромагнитного поля
§2.2. Дисперсия поверхностных и нераспространяющихся волн. 37 Численный расчет и приближенные выражения
§2.3. Структура поля поверхностных и затухающих волн в 43 симметричном разряде
§2.4. Численный расчет и приближенные формулы дисперсионных 48 кривых собственных волн при наличии столкновений [20]. §2.4.1 Классификация решений
§2.4.2 Приближенные аналитические решения
§2.5. Импеданс разряда. Приближенные методы расчета
Глава III. Симметричный разряд, полностью заполняющий вакуумную 59 камеру при симметричном и несимметричном возбуждении §3.1. Математическое моделирование импеданса разряда
§3.2. Аналитические формулы для импеданса, основанные на 63 использовании собственных функций трехслойной волноведущей структуры
§3.3. Численный расчет пространственной структуры поля в разряде и 70 анализ природы резонансов
Глава 4. Электродинамика симметричного разряда, частично 80 заполняющего разрядную камеру
§4.1. Представление поля в виде собственных функций внутри и вне 80 плазмы
§4.2. Разложение поля на поверхности раздела по собственным волнам 84 пустого волновода
§4.3. Разложение поля на поверхности раздела по собственным 87 функциям трехслойной плазменной структуры
§4.4. Упрощенное уравнение для импеданса разряда
4.4.1. Резонанс поверхностных волн у боковой поверхности
4.4.2. Резонансы радиальных поверхностных волн и геометрический 91 резонанс плазма-слой пространственного заряда.
§4.5. Влияние внешней части разрядной камеры на импеданс разряда
4.5.1. Влияние емкости внешней части электродов
4.5.2. Влияние импеданса внешней части рабочей камеры и высших 94 мод поля, возбуждаемых вблизи точки подвода мощности
§4.6. Численное моделирование разряда с симметричным
возбуждением.
§4.7 Об импедансе высокочастотного емкостного разряда при
различных способах возбуждения
Заключение
Приложение 1. Расчет дисперсионного уравнения для волн в 116 трехслойной структуре
Приложение 2. Структура поля поверхностной волны, высших мод и 117 волноводных мод
Приложение 3. Условие ортогональности волн в трехслойной 119 структуре, окруженной металлическими стенками
Приложение 4. Расчет коэффициентов уравнения
Приложение 5. Расчет амплитуд различных типов волн в 122 диагональном приближении. Разложение по волноводным модам Приложение 6. Расчет амплитуд различных типов волн в 123 диагональном приближении. Разложение по модам трехслойной структуры
Приложение 7. Расчет импеданса, вносимого внешней частью 124 электродов
Приложение 8. Расчет импеданса, вносимого периферийной частью 124 рабочей камеры.
Список литературы