Свиркова, Наталья Николаевна. Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления

brief description

Свиркова, Наталья Николаевна. Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. энергетический ин-т.- Москва, 1997.- 20 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-1/2877-9