Влияние радиационного и термического воздействия на состав и структуру алмазоподобных водородсодержащих углеродных пленок Рубштейн, Анна Петровна

brief description

Рубштейн, Анна Петровна.
Влияние радиационного и термического воздействия на состав и структуру алмазоподобных водородсодержащих углеродных пленок : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Екатеринбург, 1999. - 122 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Рубштейн, Анна Петровна
СОДЕРЖАНИЕ
Стр.
ВВЕДЕНИЕ
1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1. Основные способы получения алмазоподобных углеродных пленок
(АПП)
1.1.1. Осаждение АПП из углеводородной плазмы. Влияние условий
осаждения на их свойства
1.2. Механизмы роста АПП
1.2.1. Конденсация пленок с поверхности
1.2.2. Рост пленок "изнутри"
1.3. Состав и структура а-С:Н пленок
1.3.1. Особенности определения состава а-С:Н пленок
1.3.2. Структура а-С:Н пленок
1.3.2.1. Микроструктура а-С:Н пленок
1.3.2.2. Химическая структура водородосодержащих АПП. Модель случайной ковалентной сетки
3
1.3.2.3. Определение соотношения эр /эр связей в а-С:Н пленках
1.3.3. Дефекты в структуре АПП
1.4. Влияние состава и структуры на свойства АПП
1.4.1. Влияние водорода на свойства а-С:Н пленок
1.4.2. Взаимосвязь структуры и свойств АПП
1.5. Изменение свойств а-С:Н пленок при внешних воздействиях
1.5.1. Радиационный выход водорода из а-С:Н пленок при облучении высокоэнергетичными ионами
1.5.2. Термическое воздействие на а-С:Н пленки
1.6. Практическое применение АПП пленок
ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1. Получение алмазоподобных углеродных пленок
2.2. Электронно-микроскопическое исследование структуры пленок
2.3. Определение состава пленок методом ядерного микроанализа
2.4. Методика проведения отжигов АПП пленок
2.5. Определение типов химических связей, электрических и оптических свойств
АПП пленок
2.6. Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с АПП пленками
3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТОВ ПО ПОЛУЧЕНИЮ
УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК С АЛМАЗОПОДОБНЫМИ СВОЙСТВАМИ
3.1. Результаты и обсуждение экспериментов по определению химической структуры и состава углеродных пленок
3.2. Электрические, оптические свойства и микроструктура углеродных пленок, полученных разложением пропана
3.3. Получение пленок деструкцией дейтерированного метана СБ4 и их основные свойства
4. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ И ОБЛУЧЕНИЯ НА СОСТАВ И
СТРУКТУРУ С-Б ПЛЕНОК. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ
4.1. Изменение состава С-0 пленок при температурном воздействии
4.2. Особенности изменения состава С-0 пленок при облучении ионами дейтерия с энергией Е=900кэВ
4.3. Результаты изменения состава С-0 пленок при облучении предварительно отожженных пленок
4.4. Влияние температуры и облучения на структуру С-0 пленок
5. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ТЕРМИЧЕСКОГО И РАДИАЦИОННОГО
ВОЗДЕЙСТВИЯ НА СОСТАВ И СТРУКТУРУ а-С:Н ПЛЕНОК
5.1. Ионизационно-вакансионная модель радиационно-стимулированного
выхода водорода из а-С:Н пленок
5.2. Определение величин, входящих в основное уравнение ионизационно-вакансионной модели
5.3. Обсуждение экспериментальных данных. Основные закономерности и механизм выхода водорода из а-С:Н пленок
5.4. Обсуждение экспериментальных данных по изменению структуры СТ) пленок, полученных в ППТ при термическом и радиационном воздействии
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА