Карабанов Дмитрий Александрович Методы и средства метрологического обеспечения систем зондовой нанометрии

Краткое описание

Карабанов Дмитрий Александрович Методы и средства метрологического обеспечения систем зондовой нанометрии
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Карабанов Дмитрий Александрович
Введение

1 Метрологическое обеспечения систем зондовой нанометрии

1.1 Системы зондовой нанометрии

1.2 Вопросы метрологического обеспечения систем

зондовой нанометрии

1.3 Постановка научной задачи

1.4 Выводы по разделу

2 Разработка методологии калибровки эталонных мер

2.1 Обоснование методологии калибровки

2.2 Разработка метода сравнительной оценки параметров эталонных мер

2.3 Разработка метода прецизионного оценивания параметров эталонных мер

2.4 Выводы по разделу

3. Исследование составляющих неопределенности измерений при калибровке эталонных мер

3.1 Оценка неопределенности прецизионных измерений

3.2 Оценка неопределенности измерений при сравнительной оценке параметров мер

3.3 Оценка неопределенности измерений при калибровке систем зондовой нанометрии

3.4 Выводы по разделу

4. Разработка базовой модели топологии эталонной меры и методик калибровки эталонных мер и систем зондовой нанометрии

4.1 Обоснование базовой модели топологии эталонных калибровочных мер

4.2 Разработка методики калибровки эталонных мер

4.3 Разработка методик калибровки систем зондовой нанометрии

4.4 Выводы по разделу

Заключение

Список литературы

ПРИЛОЖЕНИЕ

ПРИЛОЖЕНИЕ

ПРИЛОЖЕНИЕ

ПРИЛОЖЕНИЕ

ПРИЛОЖЕНИЕ