Каталог / Фізико-математичні науки / Фізика напівпровідників
скачать файл:
- Назва:
- Орешков, Максим Викторович. Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами
- ВНЗ:
- Нац. исслед. ун-т МЭИ
- Короткий опис:
- Орешков, Максим Викторович. Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10 / Орешков Максим Викторович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МЭИ].- Москва, 2012.- 174 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2534
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб