Данько Віктор Андрійович Фізичні та технологічні основи процесів формування наноструктур методами інтерференційної літографії та термостимульованого розділу фаз Диссертация

Назва:
Данько Віктор Андрійович Фізичні та технологічні основи процесів формування наноструктур методами інтерференційної літографії та термостимульованого розділу фаз

Альтернативное название:
Данько Виктор Андреевич Физические и технологические основы процессов формирования наноструктур методами интерференционной литографии и термостимульованих раздела фаз

Короткий опис:
Данько Віктор Андрійович, завідувач лабораторії інтерференційної літографії Інституту фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова НАН України: «Фізичні та технологічні основи процесів формування наноструктур методами інтерференційної літографії та термостимульованого розділу фаз» (01.04.01 - фізика приладів, елементів та систем). Спецрада Д 26.199.01 в Інституті фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова