РАДІОВИМІРЮВАЛЬНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ МДН-СТРУКТУР

Короткий опис

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ, МОЛОДІ ТА СПОРТУ УКРАЇНИ
ВІННИЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

На правах рукопису

САВИЦЬКИЙ АНТОН ЮРІЙОВИЧ

УДК 628.889:621.373.53

РАДІОВИМІРЮВАЛЬНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ МДН-СТРУКТУР

Спеціальність 05.11.08 "Радіовимірювальні прилади"

Дисертація на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук

Науковий керівник
Осадчук Олександр Володимирович,
доктор технічних наук, професор

Вінниця - 2013
ЗМІСТ

ПЕРЕЛІК УМОВНИХ ПОЗНАЧЕНЬ...

4

ВСТУП.

5

РОЗДІЛ 1 СУЧАСНИЙ стан РОЗВИТКУ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ вологості ГАЗОПОДІБНИХ СЕРЕДОВИЩ..

14

1.1 Аналіз вологості повітря як об’єкта вимірювання................................

15

1.2 Сучасні перетворювачі вологості газоподібних речовин.....................

20

1.2.1 Аналіз методів вимірювання відносної вологості газів.....

20

1.2.2 Температурні та спектроскопічні перетворювачі вологості газів ....

22

1.2.3 Кулонометричні перетворювачі вологості газів.....

27

1.2.4 Сорбційні перетворювачі вологості газів............................................

28

1.3 Вимірювальні схеми вторинних перетворювачів вологості.
1.4 Висновки до розділу 1......

34
41

РОЗДІЛ 2 РОЗРОБКА ПЕРВИННИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ ВОЛОГОЧУТЛИВИХ МДН-СТРУКТУР.

43

2.1 Вибір конструкції первинного перетворювача вологості газів............

44

2.2 Обґрунтування використання вологочутливих МДН-структур з чутливим елементом на основі пористого окису кремнію для побудови первинного перетворювача...

47

2.3 Розробка математичної моделі механізму вологочутливості двозатворної МДН-транзисторної структури на основі пористого окису кремнія.

63

2.4 Висновки до розділу 2..

85

РОЗДІЛ 3 РОЗРОБКА АВТОГЕНЕРАТОРНОГО ВТОРИННОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ ДВОЗАТВОРНОГО ВОЛОГОЧУТЛИВОГО МДН-ТРАНЗИСТОРА..........................................

87

3.1 Вибір оптимальної конструкції автогенераторних вторинних перетворювачів інформації .......

88

3.2 Розробка математичної моделі радіовимірювального перетворювача вологості на основі двозатворного вологочутливого МДН-транзистора

95

3.3 Розробка математичної моделі радіовимірювального перетворювача вологості на основі двох двозатворних вологочутливих МДН-транзисторів..........................................................................................

114

3.4 Висновки до розділу 3..

127

РОЗДІЛ 4 ОСОБЛИВОСТІ РОЗРОБКИ ПРИЛАДУ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ВІДНОСНОЇ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ ЧИСТИХ ПРИМІЩЕНЬ ДЛЯ МІКРОЕЛЕКТРОННОЇ ПРОМИСЛОВОСТІ........

129

4.1 Структура та організація систем кондиціювання чистих кімнат.

130

4.2 Розробка структурної схеми приладу для вимірювання вологості повітря чистих кімнат ...............................................................................

135

4.3 Розробка мікропроцесорного приладу для вимірювання вологості повітря чистих кімнат.......

139

4.4 Розрахунок інструментальної похибки і завадостійкості приладу для вимірювання відносної вологості повітря ЧК...................

147

4.6 Висновки до розділу 4..

158

ВИСНОВКИ

159

СПИСОК ВИКОРИСТАНИХ ДЖЕРЕЛ...

162

ДОДАТОК А Лістинг програми для розрахунку активної і реактивної складових повного опору двозатворного вологочутливого МДН-транзистора...........................................................................................

176

ДОДАТОК Б Лістинг програми для розрахунку функції перетворення та рівняння чутливості...................................................................................

180

ДОДАТОК В Підстановки в рівняннях (2.952.98) в Розділі 2.................

186

ДОДАТОК Д Порівняння існуючих перетворювачів вологості з розробленими у дисертації....

187

ДОДАТОК Е Акт впровадження ..........

189

ДОДАТОК Є Акт впровадження..................................................................

190

ПЕРЕЛІК УМОВНИХ ПОЗНАЧЕНЬ

АСКВКМ автоматизована система керування вентиляцією і кондиціюванням мікрокліматом:
АСКМ автоматизована система керування мікрокліматом;
АЦП аналого-цифровий перетворювач;
БП біполярний транзистор;
ВАХ вольт-ампетна характеристика;
ІМС інтегральна мікросхема;
МДН-транзистор транзистор на основі структури метал-діелектрик-напівпровідник;
МК мікроконтролер;
ПАР поверхново активна речовина;
РПВ радіовимірювальний перетворювач вологості;
СЛАР система лінійних алгебраїчних рівнянь;
ТАН транзисторний аналог негатрона;
ЧК чиста кімната.

ВСТУП

На сучасному етапі розвитку технологій і науково-технічного прогресу, основними напрямками розвитку електроніки і радіотехніки є удосконалення існуючих і створення нових методів і засобів збору, обробки, зберігання і передачі інформації з одного боку, а з іншого створення високоточної і чутливої техніки систем автоматизації і контролю для промисловості, побутових цілей, транспорту, військової техніки, тощо. Останній напрямок забезпечує розвиток і удосконалення технології виробництва, інтенсивне зростання продуктивності праці, забезпечення дотримання норм санітарно-гігієнічних умов праці персоналу, та високої якості готової промислової продукції. Саме тому дослідження і розробки методик і вимірювальних засобів величин як електричної, так і неелектричної природи насьогодні є актуальним науковим напрямком.
Вологість є важливим показником, що використовується в промисловості для визначення придатності та якості сировинних матеріалів, а також є невід’ємною складовою і контрольованим параметром повітряних середовищ виробничих, складських середовищ, мікроклімату технологічних середовищ. Тому розробка нових засобів й удосконалення існуючих систем вимірювання вологості речовин в усіх агрегатних станах займає одне з визначних місць в інформаційно-вимірювальній техніці.
Значний внесок у розвиток вітчизняної інформаційно-вимірювальної техніки зробили такі провідні вчені: Готра З.Ю. [8, 28, 31], Кухарчук В.В. [110], Осадчук В.С. [1011, 13, 47, 103], Осадчук О.В. [12, 13, 47], Філинюк М.А. [4951], а також закордонні вчені Віглеб Г. [9], Негоденко О.Н. [7], Берлінер М.А. [15], Тутов Е.А. [3941] та ін.
На сьогоднішній день проблемами розробки і практичного застосування інформаційно-вимірювальної техніки займаються такі наукові заклади як Національний технічний університет ,,Львівська політехніка’’ (м. Львів), Національний технічний університет ,,КПІ’’ (м. Київ), Київський національний університет імені Тараса Шевченка (м. Київ), Харківський національний університет радіоелектроніки (м. Харків), Інститут фізики напівпровідників НАН України (м. Київ), Київський національний університет технологій та дизайну (м. Київ), Харківський національний технічний університет (м. Харків), Вінницький національний технічний університет (м. Вінниця).
Наукові дослідження даного напрямку розвинуті в наукових школах Вінницького національного технічного університету, а саме: розвиток теорії від’ємного опору і оцінка її ефективності розглянуті в роботах проф. Філинюка М.А. [4951], дослідження теоретичних основ реактивних властивостей напівпровідникових приладів у роботах проф. Осадчука В.C. [1011, 13, 47, 103], розробка теорії мікроелектронних частотних перетворювачів на основі транзисторних структур з від’ємним опором і її практичного застосування подано в роботах проф. Осадчука О.В [12, 13, 47].
Актуальність теми
Одним з пріоритетних напрямків розвитку науки і техніки є розробка й удосконалення існуючих радіотехнічних систем збору, передавання й обробки інформації, удосконалення устаткування й процесу виробництва, що досягається використанням сучасних досліджень і розробок в галузях матеріалознавства та інформаційно-вимірювальних технологій від етапу розробки і виготовлення первинного перетворювача інформації до проектування складних систем перетворення і обробки інформації.
Ефективність функціонування таких систем значною мірою забезпечується створенням ефективних алгоритмів роботи та адекватних реальності математичних моделей фізичних процесів перетворення і обробки інформації у вимірювальному каналі приладів. Це дозволяє врахувати всі суттєві фактори, що впливають на виробничий процес та якість готової продукції, забезпечують безпечність технологічного обладнання.
Визначення рівня вологості як невід’ємної складової газового середовища чистих кімнат, технологічних установок та інших газових об’ємів із заданим складом пов’язана із значним впливом вологи на протікання технологічних операцій та якості готової продукції мікроелектронної, хімічної, фармацевтичної, харчової та інших галузях промисловості завдяки її значним розчинним і окислювальним властивостям, що є перспективним науковим напрямком.
Удосконалення систем чистих кімнат, так й інших технологічних ліній і установок, може відбуватися на всіх рівнях перетворення інформації. На рівні первинного перетворювача, сучасні дослідження властивостей плівок аморфного пористого кремнію і його окису, дозволяють їх використання для створення чутливих шарів первинних перетворювачів вологості, як ємнісних чи резистивних, так і чутливих транзисторних МДН-структур.
Використання чутливих до вологості транзисторних структур в якості первинних перетворювачів відкриває перспективи проектування автогенераторних вторинних перетворювачів інформації, принцип дії яких засновано на перетворенні величини вимірюваного параметру у частотний інформативний сигнал. Дані вторинні перетворювачі характеризуються високою точністю і чутливістю вимірювання, завадостійкістю вихідного частотного сигналу та можливістю їх обробки за допомогою ЕОМ та інших мікропроцесорних систем збору і обробки інформації. При цьому, на відміну від параметричних перетворювачів інформації, усувається необхідність використання підсилювачів сигналу первинного перетворювача, які вносять власні шуми в інформацтивний сигнал.
З огляду на вищевказане, використання принципу перетворення вимірюваної фізичної величини у частотний інформацтивний сигнал за допомогою чутливих автогенераторних структур, дозволяє розробку й удосконалення радіотехнічних систем контролю параметрів систем технологічного обладнання та інших інформаційних систем, що є перспективним науковим напрямком.
Зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами
Робота проводилась відповідно до держбюджетних фундаментальних науково-дослідних робіт протягом 20092012 рр.: ,,Розробка математичних моделей мікроелектронних частотних перетворювачів магнітного поля на основі транзисторних структур з від’ємним опором” (НДР № державної реєстрації 0110U002160).
Мета і задачі дослідження
Метою роботи є підвищення чутливості радіовимірювальних перетворювачів вологості повітря чистих кімнат для мікроелектронної промисловості, на основі автогенераторних структур з від’ємним диференційним опором та первинним перетворювачем вологості на основі двозатворного вологочутливого МДН-транзистора.
Об’єктом дослідження є процес перетворення відносної вологості повітря чистих кімнат у частотний сигнал за функціональною залежністю.
Предмет дослідження радіовимірювальні перетворювачі вологості повітря чистих кімнат на основі реактивних властивостей вологочутливих МДН-транзисторних структур з чутливим шаром пористого окису кремнію в якості підзатворного діелектрика.
Для досягнення поставленої мети у дисертаційній роботі розв’язуються такі задачі:
- проаналізувати сучасний стан розвитку і найбільш розповсюджені види перетворювачів вологості газових середовищ та обґрунтувати необхідність використання перетворювачів вологості повітря з частотним виходом;
- удосконалити математичну модель первинного перетворювача вологості повітря чистих кімнат на основі двозатворного вологочутливого МДН-транзистора з вологочутливим шаром підзатворного пористого діелектрика;
- розробити радіовимірювальні перетворювачі вологості на основі біполярного p-n-p транзистора і вологочутливого двозатворного МДН-транзистора та двох вологочутливих двозатворних МДН-транзисторів;
- розробити математичні моделі радіовимірювальних перетворювачів вологості повітря в часовому домені, на основі яких отримати залежність напруг і струмів у часі, залежності частоти генерації та чутливості вимірювання від величини відносної вологості повітря чистих кімнат;
- провести експериментальну перевірку адекватності отриманих математичних моделей радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі двозатворного вологочутливого МДН-транзистора;
- розробити прилад з бездротовим каналом передавання інформації для вимірювання вологості повітряного середовища систем чистих кімнат;
- здійснити метрологічну оцінку інструментальної похибки приладу для вимірювання вологості повітря чистих кімнат і впровадити розроблені радіовимірювальні перетворювачі у практику.
Методи дослідження ґрунтуються на використанні:
- рівнянь фізичної електроніки та математичної фізики при розробці математичних моделей на основі вологочутливого двозатворного МДН-транзистора;
- рівнянь математичної фізики при розробці математичних моделей радіовимірювальних перетворювачів вологості повітря;
- теорії змінних стану, диференційного та інтегрального числення, теорії функції комплексної змінної, теорії розрахунку електричних кіл за методом контурних струмів для визначення функції перетворення та рівняння чутливості радіовимірювального перетворювача вологості.
Наукова новизна одержаних результатів
Наукова новизна роботи полягає в отриманні таких результатів:
1. Вперше розроблено елементи теорії взаємодії вологи з чутливими транзисторними МДН-структурами, які містять вологочутливий шар пористого окису кремнію в якості підзатворного діелектрика, що дало змогу обґрунтувати вплив параметрів даних первинних перетворювачів вологості на частоту вихідного сигналу радіовимірювальних перетворювачів вологості, а також отримати аналітичні залежності еквівалентної ємності, активної і реактивної складових повного опору від вологості оточуючого середовища.
2. Вперше теоретично досліджено вплив вологості повітря на величину повного опору та параметри елементів еквівалентної схеми та граничну частоту функціонування вологочутливих транзисторних МДН-структур, а також величину повного опору, частоту і форму вихідного сигналу радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі МДН-структур.
3. Теоретично встановлено підвищення завадостійкості і чутливості вимірювання параметру вологості повітря радіотехнічних систем чистих кімнат шляхом компенсації реактивними властивостями вологочутливих МДН-структур активних втрат при реалізації радіовимірювальних приладів для визначення вологості на основі МДН-структур, в яких використовується частота як інформативний параметр сигнала.
Практичне значення одержаних результатів
Практична цінність роботи полягає в тому, що:
1. На основі розробленої математичної моделі, що описує вплив вологи на елементи еквівалентної схеми вологочутливої транзисторної МДН-структури, запропоновано методику розрахунку параметрів первинного перетворювача вологості на основі вологочутливого двозатворного МДН-транзистора з чутливим шаром підзатворного діелектрика, виготовленого з пористого окису кремнію.
2. Отримано в результаті математичного моделювання аналітичні вирази і графічні залежності еквівалентної ємності, активної і реактивної складових повного опору вологочутливої двозатворної транзисторної МДН-структури від величини вологості оточуючого середовища, які у вимірювальному діапазоні від 0 % до 100 % відповідно складають від 17 до 87 пФ , від 2014 до 1680 Ом та від 2,6 до 6,95 МОм.
3. Розроблено радіовимірювальні перетворювачі вологості для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат:
- на основі біполярного p-n-p транзистора і вологочутливого двозатворного МДН-транзистора для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат в діапазоні вимірювання вологості від 0 до 100% чутливість складає від 16 - 34 кГц/%;
- на основі двох вологочутливих двозатворних МДН-транзисторів для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат в діапазоні вимірювання вологості від 0 до 100% чутливість складає від 27 - 38 кГц/%.
4. Розроблено пакет прикладних програм в середовищі ,,Matlab 5.2” для визначення характеру зміни активної і реактивної складових повного опору первинного перетворювача на основі вологочутливого двозатворного МДН-транзистора, а також пакет прикладних програм у середовищі ,,Maple” для визначення функції перетворення і рівняння чутливості для розроблених радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі біполярного p-n-p транзистора і вологочутливого двозатворного МДН-транзистора, а також радіовимірювального перетворювача вологості на основі двох вологочутливих двозатворних МДН-транзисторів для вимірювання вологості повітря чистих кімнат.
5. Розроблено систему вимірювання вологості повітряного середовища чистих кімнат з бездротовим каналом передавання інформації, яка входить до складу автоматизованої системи і кондиціювання повітря чистих кімнат.
Реалізація результатів роботи. Результати дисертаційної роботи впроваджено на державному підприємстві науково-дослідному інститут «Гелій» (м. Вінниця, акт від 15.09.2012) у вигляді мікропроцесорного приладу для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат з бездротовим каналом передавання інформації, а також у навчальний процес кафедри радіотехніки при виконанні лабораторних робіт з курсу «Сенсори фізичних величин» для магістрів спеціальності 8.090701 «Радіотехніка» (м. Вінниця, акт від 18.09.2012).
Особистий внесок здобувача
Основні положення і результати дисертаційної роботи отримані автором самостійно у Вінницькому національному технічному університеті. В роботах опублікованих у співавторстві здобувачеві належать: аналіз сучасного стану розвитку перетворювачів вологості газових середовищ [2226, 69], розробка конструкції [43] і математичної моделі первинного перетворювача відносної вологості газових середовищ на основі двозатворного вологочутливого МДН-транзистора [44, 73], розробка принципової електричної схеми [68] математичної моделі радіовимірювального перетворювача вологості на основі двозатворної вологочутливої транзисторної МДН-структури [64], розробка електричної принципової схеми радіовимірювального перетворювача вологості на основі двох вологочутливих двозатворних МДН-транзисторів [70] та його математичної моделі [76], удосконалення автоматизованої системи керування вентиляцією і кондиціюванням мікроклімату чистої кімнати шляхом введення двоканальної мікропроцесорної системи вимірювання вологості газового середовища ЧК [84, 85].
Апробація результатів дисертації
Результати досліджень, викладених в дисертації, апробовані на наукових конференціях, серед них:
1. XXXVІ науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу, співробітників та студентів університету з участю працівників науково-дослідних організацій та інженерно-технічних працівників підприємств м. Вінниці та області. (20-23 березня 2007 р., м. Вінниця).
2. XXXVІІ науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу, співробітників та студентів університету з участю працівників науково-дослідних організацій та інженерно-технічних працівників підприємств м. Вінниці та області. (18-21 березня 2008 р., м. Вінниця).
3. ХХХVІІІ науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу, співробітників та студентів університету з участю працівників науково-дослідних організацій та інженерно-технічних працівників підприємств м. Вінниці та області. (17-20 березня 2009 р., м. Вінниця).
4. ХL науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу, співробітників та студентів університету з участю працівників науково-дослідних організацій та інженерно-технічних працівників підприємств м. Вінниці та області. (9-11 березня 2011 р., м. Вінниця).
5. ХLІ науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу, співробітників та студентів університету з участю працівників науково-дослідних організацій та інженерно-технічних працівників підприємств м. Вінниці та області. (13-15 березня 2011 р., м. Вінниця).
6. X міжнародна конференція "Контроль і управління в складних системах (КУСС-2010) " (19—21жовтня 2010р., м. Вінниця).
7. IV Міжнародна науково-технічна конференція "Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2009)" (8—10жовтня 2009р., м. Вінниця).
8. VІІІ Міжнародна молодіжна науково-технічна конференція ,,Сучасні проблеми радіоелектроніки та телекомунікацій ,,РТ-2012”. (11—15квітня 2011р., м. Севастополь).
9. XVІ Міжнародний молодіжний форум "Радіоелектроніка і молодь у ХХІ столітті" (17—19квітня 2011р., м. Харків).
Публікації
Результати дисертації опубліковано у _20_ наукових працях. Серед них 5_ статей у науково-фахових журналах, _5_ статей у науково-технічних журналах та збірниках праць науково-технічних конференцій, отримано 10 патентів України на корисну модель.

Обсяг і структура дисертації. Дисертаційна робота складається із вступу і 4х розділів, висновків, списку використаних джерел і ­­6 додатків. Загальний обсяг дисертації 190 сторінок, містить 76 рисунків, 1 таблицю. Список використаних джерел складається з 120 найменувань. Додатки містять результати розрахунків, фрагменти програмного забезпечення та акти впровадження результатів роботи.

Список літератури

ВИСНОВКИ

У дисертаційній роботі у науковому плані розроблено елементи теорії взаємодії вологи з чутливими транзисторними МДН-структурами, які містять вологочутливий шар підзатворного пористого окису кремнію, теоретично досліджено вплив вологості повітря на величину повного опору та параметри елементів еквівалентної схеми та граничну частоту функціонування даних структур, а також величину повного опору, частоту і форму вихідного сигналу радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі МДН-структур. Теоретично встановлено підвищення завадостійкості і чутливості вимірювання параметру вологості повітря радіотехнічних систем чистих кімнат при реалізації радіовимірювальних приладів, в яких використовується частота як інформативний параметр.
В практичному плані створено новий клас радіовимірювальних перетворювачів вологості повітря чистих кімнат на основі реактивних властивостей транзисторних структур з від’ємним диференційним опором.
Розроблено пакет прикладних програм в обчислювальному середовищі "MatLab" для математичного моделювання параметрів вологочутливого двозатворного МДН-транзистора, та пакет прикладних програм в середовищі "Maple" для моделювання радіовимірювальних перетворювачів вологості повітря чистих кімнат з врахуванням залежності реактивних властивостей вологочутливого двозатворного МДН-транзистора від величини вологості оточуючого газового середовища.

Отримано такі основні наукові і практичні результати:

1. Вперше розроблено елементи теорії взаємодії вологи з чутливими транзисторними МДН-структурами, які містять вологочутливий шар пористого окису кремнію в якості підзатворного діелектрика, що дало змогу обґрунтувати вплив параметрів даних первинних перетворювачів вологості на частоту вихідного сигналу радіовимірювальних перетворювачів вологості, а також отримати аналітичні залежності еквівалентної ємності, активної і реактивної складових повного опору від вологості оточуючого середовища.
2. Вперше теоретично досліджено вплив вологості повітря на величину повного опору та параметри елементів еквівалентної схеми та граничну частоту функціонування вологочутливих транзисторних МДН-структур, а також величину повного опору, частоту і форму вихідного сигналу радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі МДН-структур.
3. Теоретично встановлено підвищення завадостійкості і чутливості вимірювання параметру вологості повітря радіотехнічних систем чистих кімнат шляхом компенсації реактивними властивостями вологочутливих МДН-структур активних втрат при реалізації радіовимірювальних приладів для визначення вологості на основі МДН-структур, в яких використовується частота як інформативний параметр сигнала.
4. На основі розробленої математичної моделі, що описує вплив вологи на елементи еквівалентної схеми вологочутливої транзисторної МДН-структури, запропоновано методику розрахунку параметрів первинного перетворювача вологості на основі вологочутливого двозатворного МДН-транзистора з чутливим шаром підзатворного діелектрика, виготовленого з пористого окису кремнію.
5. Отримано в результаті математичного моделювання аналітичні вирази і графічні залежності еквівалентної ємності, активної і реактивної складових повного опору вологочутливої двозатворної транзисторної МДН-структури від величини вологості оточуючого середовища, які у вимірювальному діапазоні від 0 % до 100 % відповідно складають від 17 до 87 пФ , від 2014 до 1680 Ом та від 2,6 до 6,95 МОм.
6. Розроблено радіовимірювальні перетворювачі вологості для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат:
- на основі біполярного p-n-p транзистора і вологочутливого двозатворного МДН-транзистора для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат в діапазоні вимірювання вологості від 0 до 100% чутливість складає 16 - 34 кГц/%;
- на основі двох вологочутливих двозатворних МДН-транзисторів для вимірювання відносної вологості повітря чистих кімнат в діапазоні вимірювання вологості від 0 до 100% чутливість складає 27 - 38 кГц/%.
7. Розроблено пакет прикладних програм в середовищі ,,Matlab 5.2” для визначення характеру зміни активної і реактивної складових повного опору вологочутливої двозатворної транзисторної МДН-структури, а також пакет прикладних програм у середовищі ,,Maple” для визначення функції перетворення і рівняння чутливості для розроблених радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі біполярного p-n-p транзистора і вологочутливого двозатворного МДН-транзистора, а також радіовимірювального перетворювача вологості на основі двох вологочутливих двозатворних МДН-транзисторів для вимірювання вологості повітря чистих кімнат.
8. Розроблено автогенераторний прилад для вимірювання вологості повітря чистих кімнат радіотехнічної системи керування вентиляцією і кондиціюванням мікроклімату чистої кімнати з бездротовим каналом передавання інформації.

СПИСОК ВИКОРИСТАНИХ ДЖЕРЕЛ

1. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники / Сазонов А.А. Корнилов Р.В., Кохан Н.П. [та ін.]. М.: Высш. шк., 1991. 331 с.
2. Технология БИС/ Пирс К., Адамс А., Кац Л. [та ін.]. М.: Мир, 1986. 400 с.
3. Каленик Дмитрий Владимирович. Технология материалов электроники: Учебное пособие. / Каленик Д. В. Челябинск: Изд. ЮУрГУ, 2001. ч.1. 119 с. ISBN 5-696-02048-8
4. Березин Андрей Сергеевич. Технология и конструирование интегральных микросхем: учебн. пособие для вузов. Березин А.С., Мочалкина О.Р. М.: Радио и связь, 1992. 320 с.
5. Коледов Леонид Александрович. Технология и конструирование микросхем, микропроцессоров и микросборок / Коледов Л.А. М.: Радио и связь, 1989. 400 с.
6. Технология СБИС: в 2х кн./ Зи С., Могэб. К., Фрейзер Д. [та ін.]. М.: Мир, 1986. 453 с.
7. Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин: учебное пособие. / Агеев О.А., Мамиконова В.М., Петров В.В., [та ін.]. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. 153 с.
8. Давачі: довідник / З. Ю. Готра, Л.Я. Іляницький, Є.С. Поліщук, та ін.; під ред. З. Ю. Готри та О.І. Чайковського.]. Львів: Каменяр, 1995. 312 с. ISBN 5-7745-0233-3.
9. Виглеб Г. Датчики / Г. Виглеб; [пер. с нем. М. А. Хацериова]. М. : Мир, 1989. 196 с. ISBN 5-03-000634-6.
10. Осадчук В.С. Сенсори вологості: навчальний посібник / Осадчук В. С., Осадчук О. В., Крилик Л. В. Вінниця : УНІВЕРСУМВінниця, 2003. 208 с. ISBN 966-641-055-9.
11. Осадчук Володимир Степанович. Напівпровідникові перетворювачі інформації: навчальний посібник / Осадчук В.С., Осадчук О. В. Вінниця: ВНТУ, 2004. 208 с.
12. Осадчук Олександр Володомирович. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі транзисторних структур з від’ємним опором / Осадчук О.В. Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2000. 303 с. ISBN 978-966-641-315-7.
13. Осадчук Володимир Степанович. Напівпровідникові прилади з від’ємним опором : навчальний посібник / Осадчук В.С., Осадчук О.В. Вінниця : ВНТУ, 2006. 162 с. ISBN 978-945-341-317-5.
14. Мухитдинов Маил. Оптические методы и устройства контроля влажности / Мухитдинов М. Н., Мусаев Э.С. М.: Энергоатоиздат, 1986. 96 с.
15. Берлинер Михаил Андреевич Измерение влажности. / Берлинер М.А. М.: Энергия, 1973. 400 с.
16. Патент України на корисну модель № 31602, (51) МПК (2006.01) H01L 21/302. Cпосіб плазмохімічної обробки матеріалів / А.Ю. Савицький, Ю.С. Кравченко; заявник і патентовласник Вінницький національний технічний університет. №200714875; заявл. 27.12.2007; опубл. 10.04.08, Бюл. №7.
17. Киреев В.Ю. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. / М.: Радио и связь, 1983. 128 с.
18. Данилин Б.С. Расчет стационарной концентрации радикалов и скорости травлення материалов в плазме газовых разрядов / Данилин Б.С., Журавов В.Д., Кузнецов В.И. // Химия високих знергий. 1980. №1. С. 72-77.
19. Коттон Френк. Основы неорганической химии / Коттон Ф., Уилкинсон Дж./ М.: Мир, 1979. 679 с.
20. Пинхусович Роман Леонидович. Методы и приборы для измерения относительной влажности / Пинхусович Р.Л., Коломыйцев В.П. М.:Энергоатомиздат, 1977. 413 с.
21. Авторское свидетельство № 1257480 СССР, МКИ G01N 21/81. Датчик влажности газовых смесей /С.О. Мирумянц, В.С. Макаров, Н.И. Москаленко.; заявл. 27.01.85; опубл. 15.09.85.; Бюл. №34.
22. Савицький А.Ю. Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Савицький А.Ю., Кравченко Ю.С. // Оптико-електронні інформаційно-вимірювальні технології. 2008. №16. С. 175-182. ISSN 1681-7893.
23. Патент України на корисну модель №39596, (51) МПК (2006.01) G01N 21/53. Конденсаційний гігрометр / А.Ю. Савицький, С.Ю. Кравченко; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200803001; заявл. 07.03.2008; опубл. 10.03.2009; Бюл. № 5.
24. Патент України на корисну модель №34559, (51) МПК (2006.01) G01N 21/53. Газоаналізатор / А.Ю. Савицький, С.Ю. Кравченко, О.Л. Гладковська; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200804620; заявл. 10.04.2008; опубл. 11.08.2008; Бюл. № 15.
25. Патент України на корисну модель №34556, (51) МПК (2006.01) G01N 21/53. Оптичний газоаналізатор / А.Ю. Савицький, С.Ю. Кравченко, Л.В. Крилик; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200804585; заявл. 10.04.2008; опубл. 11.08.2008; Бюл. № 15.
26. Патент України на корисну модель №40956, (51) МПК (2006.01) G01N 21/53. Конденсаційний гігрометр / А.Ю. Савицький, В.С. Осадчук, О.В. Осадчук, Л.В. Крилик; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200814735; заявл. 22.12.2008; опубл. 27.04.2009; Бюл. № 8.
27. Курмашев Ш.Д. Кремниевые МДПструктуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика / Курмашев Ш.Д., Викулин И.М., Ленков С.В. // Технология и конструирование в электронноой аппаратуре. 2001. №6. С. 69. ISSN 1751-3657.
28. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: науково-навчальне видання / [В. Вуйцік, З. Ю. Готра, В. В. Григор’єв та ін.] ; під ред. З. Ю. Готри. - [том 1]. Львів : Ліга-Прес, 2002. 475 с. ISBN 966-7483-78-9.
29. Авторское свидетельство № 1288557 СССР, МКИ G01N 19/12. Датчик влажности / Т.И. Берелашвили, К.С. Сибашвили, Г.А. Вартанов; заявл. 27.07.86; опубл. 07.02.87.; Бюл. №22.
30. Бутурлин Андрей Иванович. Микроэлектронные датчики влажности./ Бутурлин А.И. // Зарубежная электронная техника. 1984, №9. С. 354.
31. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: науково-навчальне видання. В 3 томах. Том 1 / Вуйцік В., Готра З.Ю., Григор’єв В.В [та ін.]; за редакцією З.Ю. Готри. Львів: Ліга-Прес, 2002. 475 с. ISBN 978-966-397-074-X.
32. Foucaran A., Sorli B., Garsia M et al. Porous silicon coupled with thermoelectric cooler: humidity sensor // Sensors and Actuators,79,2000, pp. 189-193.
33. Wu A.T., Seto M., Brett M.J. Capacitive SiO humidity sensors with novel microstructures // Sensors and materials, 11, 1999, №8, pp. 493-505.
34. Пат. 3345596 (USA). Relative humidity sensor. Delaney R.A., 1967 (338/35).
35. 3906426 (USA). Humidity sensor. Frazee L.E., Fraioli A.V., 1975.
36. Channon N.D., Barnwell P.G. A thick film humidity sensor // Components, Hybrids, and Manufacturing Technology, volume 3 issue 2, pp 237-243.
37. J. Electrochem, Soc., 1968, v. 115, №5, pp. 618-620.
38. IEEE Solid-State Sensors Conference, 1984, Los Angeles, pp 8-9.
39. Тутов Е.А. Равновесные и неравновесные процессы на пористом кремнии./ Тутов Е.А., Павленко Н.М., Тутов Е.Е. [та ін.] // Письма в ЖТФ. 2006, том 32, выпуск 13. С. 612. ISSN 2889-1245.
40. Тутов Е.А. Влияние адсорбции паров воды на вольт-фарадные характеристики гетероструктур на пористом кремнии / Тутов Е.А., Павленко Н.М., Домашевская Э.П. [та ін.] // Журнал технической физики. 2003, том 73, выпуск 11. С. 8390. ISSN 2697-3985.
41. Тутов Е.А. Гетерофазные процессы при взаимодействии пористого кремния с водой / Тутов Е.А./ Сорбционные и хроматографические процессы 2009, том 9, выпуск 1. c. 131137. ISSN 2457-1368.
42. Патент №59-23598 Японії, кл. G01N27/02, Напівровідниковий сенсор вологості/ Такаси Нуэ, опубл. 13.03.92.
43. Патент України на корисну модель № 40955, (51) МПК (2006.01) G01N 21/53. Гігрометричний сенсор на польовому транзисторі / А.Ю. Савицький, В.С. Осадчук, О.В. Осадчук, Л.В. Крилик; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200814731; заявл. 22.12.2008; опубл. 27.04.2009; Бюл. № 8.
44. Савицький А.Ю. Вологочутливий двозатворний МДН-транзистор / Савицький А.Ю., Осадчук О.В. // Вісник ВПІ. 2010, №6 c. 9396. ISSN 19979266.
45. Патент України на корисну модель № 34240, (51) МПК (2006.01) G01N 25/56. Сенсор вологості / З.Ю. Готра, О.З. Готра, К. Камуда, І.Є. Дубницька.; заявник та патентовласник державний університет ,,Львівська політехніка” №99063374; заявл. 17.06.1999; опубл. 15.02.2001; Бюл. № 1.
46. Патент України на корисну модель № 34264, (51) МПК (2006.01) G01N 25/56. Сенсор вологості / З.Ю. Готра, О.З. Готра, К. Камуда, І.Є. Дубницька.; заявник та патентовласник державний університет ,,Львівська політехніка” №99063429; заявл. 18.06.1999; опубл. 15.02.2001; Бюл. № 1.
47. Осадчук В. С. Мікроелектронні сенсори температури з частотним виходом : навч. посіб. / Осадчук В. С., Осадчук О. В., Кравчук Н. С. Вінниця: ВНТУ, 2007. 163 с. ISBN 978-966-641-214-3.
48. Сорокин Л.М. Особенности вольт-амперных характеристик и температурные зависимости электропроводимости слоев пористого кремния / Сорокин Л.М., Соколов В.И., Калмыков Е.А. [та ін.] // Письма в ЖТФ. 2010, том 36, выпуск 24. С. 6169. ISSN 28862365.
49. Філинюк М.А. Аналіз впливу зворотного зв’язку на параметри динамічного негатрона на польовому транзисторі / Філинюк М.А., Лазарєв О.О. // Вісник ВПІ. 2000. - №6. С. 94 - 97. - ISSN 1997-9266.
50. Філинюк М. А. Дослідження енергетичних властивостей нелінійної ємності / Філинюк М. А., Лазарєв О. О. // Вісник ВПІ. 2000. - №4. С. 92 - 95. - ISSN 1997-9266.
51. Негатроника / Гаряинов С.А., Серьезнов А.Н., Степанова Л.Н., Филинюк Н.А. Новосибирск: Наука, 1995. 320 с.
52. Кулаков Михаил Васильевич. Технологические измерения и приборы для химических производств. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 1983. 424 с.
53. Хамакава Й. Аморфные полупроводники и приборы на их основе: пер. с англ. / Хамакава Й. М.: Металлургия, 1986. 376 с.
54. Смит Ричард. Полупроводники: пер. с англ. / Смит Р. М.: Мир, 1982. 560 с.
54. Аморфные полупроводники: пер. с англ./ Бродски М., Карлсон Д., Коннел Дж., [та ін.]. / М.:Мир, 1962. 419 с.
55. Горелик Семен Самуилович. Материаловедение полупроводников и диэлектриков / Горелик С.С. М.: Металлургия, 1988. 320 с.
56. Шалимова Клавдия Васильевна. Физика полупроводников / Шалимова К.В. М.: Энергия, 1971. 312 с.
57. Зи С. Физика полупроводниковых приборов: в 2х кн. Кн. 2. / Зи С. М.: Мир, 1984. 456 с.
58. Крилик Л. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі вологості на основі напівпровідникових структур з від’ємним опром : дис. кандидата тех. наук : 05.13.05 / Крилик Людмила Вікторівна. Вінниця, 2005. 221 с.
59. Курносов Анатолий Иванович. Технология производства полупроводниковых приборов: учеб. пособие для вузов / Курносов А.И., Юдин В.В. М.: Высш. шк., 1986. 386 с.
60. Ковалевский Александр Альбертович. Физико-химические основы влагочувствительности пленок оксида кремния / Ковалевский А.А., Баранов И.Л. // Микроэлектроника. 1996. Т. 25. Вып. 4. С. 298302.
61. Тутов Е.А. Неравновесные процессы в емкостных сенсорах на основе пористого кремния / Тутов Е.А., Андрюков А.Ю., Рябцев С.В. // Письма в ЖТФ. 2000, том 26, выпуск 17. c. 5358. ISSN 2697-3255.
62. Грег С. Адсорбция, удельная поверхность, пористость / Грег С., Синг К. М.: Мир, 1984. 304 с.
63. Разевиг Всеволод Данилович. Схемотехническое моделирование с помощью Micro-Cap 7 / Разевиг В.Д. М.: Горячая линия-Телеком, 2003. 368 с. ISSN 5-256-0100-6.
64. Савицький А.Ю. Радіовимірювальний перетворювач вологості на основі вологочутливого МДН-транзистора / Савицький А.Ю., Осадчук О.В. // Вісник ВПІ. 2011, №5 С. 167171. ISSN: 1997-9274.
65. Патент України на корисну модель № 75700, (51) МПК (2011.01) G01N 27/22. Спосіб вимірювання вологості / О.В. Поджаренко, М.О. Куцевол, О.М. Куцевол; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №2004032000; заявл. 18.03.2004; опубл. 15.05.2006; Бюл. № 5.
66. Патент України на корисну модель № 14659, (51) МПК (2011.01) G01N 27/22. Ємнісний вологомір / О.В. Поджаренко, М.О. Куцевол, О.М. Куцевол; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200511929; заявл. 12.12.2005; опубл. 15.05.2006; Бюл. № 5.
67. Догадин Николай Борисович. Основы радиотехники / Догадин Н.Б. СПб.: Лань, 2007. 272 с. ISBN 978-5-8114-0767-3.
68. Патент України на корисну модель № 65925, (51) МПК (2011.01) G01N 21/53. Напівпровідниковий пристрій для виміру вологості / А.Ю. Савицький, О.В. Осадчук, Л.В. Крилик; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №201102377; заявл. 28.02.2011; опубл. 26.12.2011; Бюл. № 24.
69. Савицький А.Ю. Принципи вимірювання відносної вологості газів атмосферного і пониженого тиску / Савицький А.Ю., Осадчук В.С., Осадчук О.В. // Вісник ХНУ. 2011, №3 (176) С. 196200. ISSN 2226-9150.
70. Патент України на корисну модель № 42218, МПК (2011.01) G01N 21/53. Напівпровідниковий гігрометричний сенсор / А.Ю. Савицький, О.В. Осадчук, Л.В. Крилик, О.Л. Гладковська, О.С. Звягін; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №200900901; заявл. 06.02.2009; опубл. 25.06.2009; Бюл. № 12.
71. Савицький А.Ю. Радіовимірювальний сенсор вологості / Савицький А.Ю., Осадчук О.В. // V міжнародна науково-технічна конференція "Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП2011)": міжнар. наук.-техн. конф., Вінниця 19 — 21 трав. 2011 р.: тези доповіді. 2011. С. 140141. ISBN 978-966-641-6.
72. Савицький А.Ю. Радіовимірювальний сенсор вологості / Савицький А.Ю. Осадчук О.В. // І міжнародна наукова конференція пам’яті професора Володимира Поджаренка "Вимірювання, контроль та діагностика в технічних системах (ВКДТС2011)": міжнар. наук. конф., Вінниця 18 — 20 жов. 2011 р.: тези доповіді. 2011. С. 66. ISBN 978-966-641-429-6.
73. Савицький А.Ю. Частотний перетворювач вологості / Осадчук О.В., Савицький А.Ю. // X міжнародна конференція "Контроль і управління в складних системах": міжнар. наук.-техн. конф., Вінниця 19 — 21 жовт. 2010 р.: тези доповіді. 2010. С. 92. ISBN 978-966-641-6.
74. Савицький А.Ю. Автогенераторний вимірювальний перетворювач з від’ємним опором / Барабан С.В., Савицький А.Ю. // VII-ая международная научно-техническая конференція "Современные проблемы радиотехники и телекомуникация (РТ-2011)": міжнар. наук.-техн. конф., Севастополь 11 — 15 квіт. 2011 р.: тези доповіді. 2011. С. 427. ISBN 978-641-3.
75. Электрические измерения. Средства и методы измерений / Дьяченко К. П., Зорин Д. И., Новицкий П. В., Шрамков Е. Г. М. : Высшая школа, 1972. 520 с.
76. Савицький А.Ю. Прилад для вимірювання і контролю відносної вологості газів з частотним виходом / Савицький А.Ю. Осадчук О.В. // Нові технології. Науковий вісник Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління. 2011, №3 (33) С.38. ISSN: 1810-3049.
77. Хайнеман Р. PSPICE Моделирование работы электронных схем / Хайнеман Р. / М.: ДМК, 2005. 325 с.
78. Разевиг Всеволод Данилович. Пакет схемотехнического моделирования PSpice 5 / Разевиг В.Д. М.: Физматлит, 1994. 256 с.
79. Тугов Н.М. Полупроводниковые приборы / Тугов Н.М., Глебов Б.А., Чарыков Н.А. М.: Энергоатомиздат, 1990. 576 с.
80. ГерманГалкин Сергей Григорьевич. Компьютерное моделирование полупроводниковых систем в Matlab 6.0: учебн. пособие./ Герман-Галкин С.Г. Спб.: КОРОНА-принт, 2001. 321 с. ISBN 978-5-7931-0816-4.
81. Сдвижков Олег Анатольевич. Математика на компьютере: Maple 8 / Сдвижков О.А. М.: Солон-прес, 2003. 176 с. ISBN: 5-98003-039-5.
82. Дьяконов В.П. Maple 8 в математике, физике, образовании / Дьяконов В.П. М.: Солон-прес, 2003. 576 с.
83. Чернышова Татьяна Ивановна. Моделирование электронных схем / Чернышова Т.И., Чернышов Н.Г. Тамбов: ТГТУ, 2010. 80 c. ISBN: 978-5-8265-0965-4.
84. Савицький А.Ю. Автогенераторний вимірювальний перетворювач з від’ємним опором Сучасні проблеми радіотехніки та телекомунікацій «РТ - 2011»: Матеріали 7-ої міжнар. молодіжної наук.-техн. конф., Севастополь 11 — 15 квітня 2011 р. / М-во освіти і науки, молоді та спорту України, Севастоп. нац. техн. ун-т; наук. ред. Ю.Б. Гімпілевич. — Севастополь: СевНТУ, 2011. — 479 с. ISBN 942-218-311-2.
85. Барабан С.В. Мікроелектронний перетворювач температури на основі піроелектричної структури // Матеріали XV Міжнародного молодіжного форуму «Радиоэлектроника и молодежь в XXI веке», м. Харків, 18-20 квітня 2011 року/ Том 1/ Міжнародна конференція «Электронная техника и технологии» . Харків: ХНУРЕ.2011. 372 с. ISBN 978-628-512-3.
86. Златин Иосиф. Создание и редактирование моделей в OrCAD 15.7. Ч1 / Златин И. // Компоненты и технологии. 2007.№6. С. 124128. ISBN: 978-5-91359-043-5.
87. Златин Иосиф. Создание и редактирование моделей в OrCAD 15.7. Ч2 / Златин И. // Компоненты и технологии. 2007.№7. С. 149154. ISBN: 978-5-91359-043-5
88. Златин Иосиф. Создание и редактирование моделей в OrCAD 15.7. Ч3 / Златин И. // Компоненты и технологии. 2007.№8. С. 154160. ISBN: 978-5-91359-043-5.
89. Разевиг Всеволод Данилович. Система сквозного проектирования электронных устройств DesignLab 8.0 / Разевиг В.Д. М.: СолонПрес, 1999. 698 с. ISBN 5-85954-082-5.
90. Патент України на корисну модель № 46483, (51) МПК (2011.01) G01N 27/12. Напівпровідниковий пристрій для виміру вологості / О.В. Осадчук, В.С Осадчук, Л.В. Крилик.; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №2001055284; заявл. 24.07.2001; опубл. 15.02.2002; Бюл. № 5.
91 Патент України на корисну модель № 46483, (51) МПК (2006.01) G01N 27/12. Вимірювач вологості / О.В. Осадчук, В.С Осадчук, Л.В. Крилик.; заявник та патентовласник Вінницький національний технічний університет №2001074689; заявл. 05.07.2001; опубл. 15.02.2002; Бюл. № 5.
92. Ла-Салль Ж. Исследование устойчивости прямым методом Ляпунова / Ла-Салль Ж., Левшец С. М.: Мир, 1964. 168 с.
93. Данилина Тамара Ивановна. Технология СБИС: учебн. пособие / Данилина Т.И., Кагадей В.А. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007. 287 с.
94. Уайт В. Проектирование чистых помещений: пер. с. англ. / Уайт В. / М.: Клинрум, 2004. 360 с. ISBN 5-902728-01-0.
95. Стефанов Евгений Васильевич. Вентиляция и кондиционирование воздуха / Стефанов Е.В. / СПб.: АВОК СЕВЕРО-ЗАПАД, 2005. 399 с. ISBN 5-902146-08-9.
96. Федотов Алексей Евгеньевич. Чистые помещения / Федотов А.Е. М.: Асинком, 2003. 576 с. ISBN 5-7447-0193-1.
97. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды: Часть 4. Проектирование, строительство, ввод в эксплуатацию : ГОСТ ИСО 14644-4-2002. - [Действует от 2003-04-01]. — М. : Стандартинформ, 2003. — 17 с. — (Межгосударственный стандарт).
98. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды: Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия: ГОСТ ИСО 14644-2-2002. - [Действует от 2003-04-01]. — М. : Стандартинформ, 2003. — 19 с. — (Межгосударственный стандарт).
99. Классификация систем кондиционирования воздуха [Электронный ресурс] / Режим доступа к статье: http://www.abok.ru/for_spec/articles.
100. Селецька О. О. Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для визначення часу плазмохімічного травлення : дис. кандидата тех. наук : 05.11.08 / Селецька Олена Олександрівна. Вінниця, 2010. 205 с.
101. Мирский Григорий Яковлевич. Электронные измерения / Г. Я. Мирский. М. : Радио и связь, 1986. 440 с.
102. Яценков Владимир Семенович. Микроконтроллеры Microchip с аппаратной поддержкой USB / Яценков В. С. М. : Горячая линия - Телеком, 2008. 400 с. ISBN 978-5-9912-0030-1.
103. Осадчук В. С. Температурні та оптичні мікроелектронні частотні перетворювачі: навч. посіб. / Осадчук В. С., Осадчук О. В., Вербицький В. Г. Вінниця: ВНТУ, 2001. 195 с. ISBN 966-641-038-9.
104. Левшин Евгений Сергеевич. Электрические измерения физических величин / Левшин Е.С., Новицкий В.П. Л. : Энергоатомиздат, 1983. 320 с.
105. Орнатский Петр Павлович. Теоретические основы информационно-измерительной техники / Орнатский П.П. К.: Выща школа, 1983. 455 с.
106. Нефедов Владимир Иванович. Метрология и радиоизмерения в телекоммуникацинных системах: учеб. пособие / В. И. Нефедов, В. И. Хахин. М.: Высшая школа, 2001. 383 с. ISBN: 5-06-004274-Х.
107. Засоби та методи вимірювань неелектричних величин / Є.С. Поліщук, М М. Дорожовець, Б.І. Стадник [та ін.]. Львів : Вид-во "Бескид Біт", 2008. 618 с. ISBN 966-8450-22-1.
108. Дорожовець Михайло Миронович. Опрацювання результатів вимірювання : навч. посіб. / М. М. Дорожовець. Львів : Вид-во нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2007. 624 с. ISBN 978-966-553-640-6.
109. Пождаренко Володимир Олександрович. Вимірювання і комп’ютерно-вимірювальна техніка / В.О. Пождаренко, В.В. Кухарчук. Київ : НМК ВО, 1991 - 240 с.
110. Яценков Владимир Семенович. Микроконтроллеры Microchip с аппаратной поддержкой USB / Яценков В. С. М. : Горячая линия - Телеком, 2008. 400 с. - ISBN 978-5-9912-0030-1.
111. Стенцель Йосип Іванович. Метрологія та технологічні вимірювання