Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Системний аналіз, управління та обробка інформації, статистика
скачать файл: ![](/design/img/wordl.gif)
- Назва:
- Капитонов Александр Александрович. Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии
- ВНЗ:
- Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий механики и оптики
- Короткий опис:
- Капитонов Александр Александрович. Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии: диссертация ... кандидата технических наук: 05.13.01 / Капитонов Александр Александрович;[Место защиты: Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2014.- 133 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб