Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Системи автоматизації проектувальних робіт
скачать файл: ![](/design/img/wordl.gif)
- Назва:
- Гладких, Алексей Алексеевич. Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планиризации
- ВНЗ:
- Ин-т проблем проектирования в микроэлектронике РАН
- Короткий опис:
- Гладких, Алексей Алексеевич. Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планиризации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.12 / Гладких Алексей Алексеевич; [Место защиты: Ин-т проблем проектирования в микроэлектронике РАН].- Москва, 2013.- 178 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1480
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб