Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл:
- Назва:
- Рогожин Александр Евгеньевич. Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов на основе силицидов диэлектриков с высоким Е, полученным методамимагнетронного распыления и электронно- лучевого испарения
- ВНЗ:
- Физико-технологический институт РАН
- Короткий опис:
- Рогожин Александр Евгеньевич. Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов на основе силицидов диэлектриков с высоким Е, полученным методамимагнетронного распыления и электронно- лучевого испарения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич; [Место защиты: Физико-технологический институт РАН].- Москва, 2007.- 94 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб